液体金属で作る高精細配線技術、 フレキシブルデバイスにも期待

横浜国立大学の向井理特任助教、上野和英教授、丸尾昭二教授の研究グループは、生体適合性の高い液体金属であるガリウム-インジウム共晶合金（EGaIn）を分散したコロイド溶液中で、レーザー光を走査し、レーザー誘起バブルによって粒子を集積化させる「バブルプリント法」を用いることで、自由度の高い高精細な微細パターンを作製することに成功しました。EGaInは酸化により絶縁性の酸化被膜が生成し、これによって微細配線の導電性が低下する課題があったが、この酸化被膜を銀に置換することで、高い導電性（約1.5×10⁵S/m）を維持した配線を作製できることを実証しました。さらに、レーザー強度を調整することで、最小3.4 µmの微細配線の形成にも成功しました。液体金属を用いた配線技術は、フレキシブルあるいはストレッチャブルデバイスへの応用が期待されます。本研究成果は、国際科学雑誌「Nanomaterials」（2024年10月17日付）に掲載されました。